| 품명 | Tetrahydrofurfuryl Alcohol |
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| 제품명 | THFA |
| CAS | 97-99-4 |
| PACKING | Drum |
Tetrahydrofurfuryl Alcohol (THFA)는 고리형 에테르 알코올로, 비교적 낮은 독성, 좋은 용해성, 그리고 안정적인 화학적 특성을 가지고 있습니다. 반도체 제조 공정에서는 주로 용매 또는 세정 보조제로서 제한적으로 활용되고 있습니다.
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산업 분야 |
사용 예시 |
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세정 보조제 |
▶ Post-Etch Residue제거 보조, Photoresist 제거 보조 |
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용매(Solvent) |
▶ 유기 첨가제용 용매, 물질 농도 조절용 희석제 |
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재료 특징 |
▶ 용해력 제한, 안전성, 휘발성 |
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