| 품명 | Propylene Glycol Monomethyl Ether |
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| 제품명 | PGME |
| CAS | 107-98-2 |
| PACKING | Drum/Bulk |
Propylene Glycol Monomethyl Ether (PGME)는 에테르와 알코올 작용기를 모두 갖는 유기 용매로, 적절한 용해력, 낮은 독성, 그리고 비교적 낮은 증기압을 가지고 있어 반도체 제조 공정에서 다양한 용도로 활용됩니다.
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산업 분야 |
사용 예시 |
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포토레지스트 용매 |
▶ 에폭시계, 노볼락계, 화학 증폭형 PR용 용매 |
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세정제 |
▶ Post-Etch Residue 제거, Photoresit제거 보조 |
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박막 형성 용매 |
▶ Spin Coating 용액의 용매(Polyimide, SOG, SOC 등) |
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희석제, 반응용매 |
▶ 고농도 화학물질의 희석, 특정 화학 반응의 용매 용도 |